探针台的作用

探针台是一种用于在半导体芯片上进行电气测试和故障分析的高精度定位设备。它具有以下作用：

电气测试：

• 通过探针与芯片上的焊盘或端点接触，进行电气信号的测量和注入。
• 可测量电阻、电容、电感、电压、电流等电气参数。
• 可以执行各种测试模式，如直流测试、交流测试、脉冲测试等。

故障分析：

• 通过移动探针并测量电气信号，检测芯片上的故障位置。
• 可以使用各种故障分析技术，如短路检测、开路检测、漏电流测量等。
• 有助于识别和定位芯片中的制造缺陷或设计错误。

其他作用：

• 光学对齐：使用光学系统将探针精确对准芯片上的目标点。
• 探针定位：控制探针的运动，使其能够准确触达芯片上的特定焊盘或端点。
• 温度控制：可以控制探针台的温度，以模拟不同环境条件下的芯片性能。
• 数据记录和分析：将测试数据和故障分析结果记录并存储，以便进行进一步的分析和诊断。

应用领域：

探针台广泛应用于以下领域：

• 半导体制造：芯片测试和故障分析
• 封装和测试：封装后芯片的电气测试
• 失效分析：故障芯片的失效分析
• 材料表征：半导体材料的电气特性的测量
• 研发和设计：芯片性能评估和设计验证