探针台的工作原理

探针台是一种用于测试和表征半导体器件或电路的设备。其工作原理如下：

1. 样品放置

• 半导体芯片或器件被放置在探针台的载物台上。
• 载物台可以移动，以精确地将器件对齐到探针下方。

2. 探针对齐

• 探针是细金属线，用于与器件上的接触点建立连接。
• 探针通过机械或压电致动器精确对齐到接触点。
• 计算机控制的显微镜用于目视对齐或自动对齐探针。

3. 电气连接

• 探针与器件上的接触点电气连接。
• 探针连接到测试设备，例如示波器或源测量单元 (SMU)。

4. 电气测量

• 使用测试设备对器件进行电气测量，例如：
• 电压
• 电流
• 电阻
• 电容

5. 移动和定位

• 探针台配备了计算机控制的系统，用于移动探针并定位到不同的测试点。
• 这使测试人员能够快速有效地测试器件的不同区域。

6. 数据采集和分析

• 从电气测量中收集的数据被记录和分析。
• 数据可以用于表征器件性能、故障排除或工艺开发。

探针台类型

有多种类型的探针台，用于不同的测试需求，包括：

• 手动探针台：需要手动对齐探针。
• 半自动探针台：使用软件辅助探针对齐。
• 全自动探针台：使用计算机视觉和自动控制系统进行完全自动对齐和测试。
• 热探针台：在测量过程中加热器件。
• 冷探针台：在低温下测试器件。

探针台是一个重要的工具，用于半导体器件的测试和表征，对于确保器件的质量和性能至关重要。