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探针台工作原理合集

TCGK-tcwin 灯珠Q&A 发布时间:2024-09-01 12:15:16 浏览量:700

探针台的工作原理

探针台是一种用于测试和表征半导体器件或电路的设备。其工作原理如下:

探针台工作原理合集

1. 样品放置

  • 半导体芯片或器件被放置在探针台的载物台上。
  • 载物台可以移动,以精确地将器件对齐到探针下方。

2. 探针对齐

  • 探针是细金属线,用于与器件上的接触点建立连接。
  • 探针通过机械或压电致动器精确对齐到接触点。
  • 计算机控制的显微镜用于目视对齐或自动对齐探针。

3. 电气连接

  • 探针与器件上的接触点电气连接。
  • 探针连接到测试设备,例如示波器或源测量单元 (SMU)。

4. 电气测量

  • 使用测试设备对器件进行电气测量,例如:
  • 电压
  • 电流
  • 电阻
  • 电容

5. 移动和定位

  • 探针台配备了计算机控制的系统,用于移动探针并定位到不同的测试点。
  • 这使测试人员能够快速有效地测试器件的不同区域。

6. 数据采集和分析

  • 从电气测量中收集的数据被记录和分析。
  • 数据可以用于表征器件性能、故障排除或工艺开发。

探针台类型

有多种类型的探针台,用于不同的测试需求,包括:

  • 手动探针台:需要手动对齐探针。
  • 半自动探针台:使用软件辅助探针对齐。
  • 全自动探针台:使用计算机视觉和自动控制系统进行完全自动对齐和测试。
  • 热探针台:在测量过程中加热器件。
  • 冷探针台:在低温下测试器件。

探针台是一个重要的工具,用于半导体器件的测试和表征,对于确保器件的质量和性能至关重要。

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